最新光罩全自动影像测量仪 GM-7060
产品介绍:
最新光罩全自动影像测量仪GM-7060系列为七海独家测量技术突破之革命性影像测量系统,结合最新光罩技术(Glass Mask)取代传统以光学尺计数之测量模式。无光学尺、无累计误差之大行程悬臂式影像测量仪器,将光学尺所产生的区段误差、累计误差、回程误差等问题彻底消除。突破在大行程测量仪器上的限制,更能精确与客观的获得确切数据。专门针对电路板、铭板、印刷、Touch Panel等业界测量研发设计。
产品特点:
·基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩,降低形变系数,稳定性高;
·三轴高精度伺服马达传动;
·七海独家专利光罩技术测量仪,无光学尺和编码器,无阿贝误差,精度不受机械误差影响;
·技术突破,悬臂式大行程影像测量仪,高精度,无累计误差;
·可搭配激光测头应用;
·搭配七海专业版测量软件EF系列软件;
·芯片、电路板、铭板、印刷、Touch Panel等专用测量机型。
技术参数:
·型号:GM-7060
·行程:(mm)X-700 Y-600 Z-100
·外形尺寸:1860*1270*1680
·工作台大小:1020*920
·工作台承重:5kg
·机台重量:800kg
·轴向测量精度:XY(3μm+5L/1000)μm
·平面精度:<5μm
·控制方式:自动
·摄像机:SOV-A级高解析1/3" 彩色CCD
SOV-A级测量专用型镜头
·光源:轮廓光LED,亮度连续可调
表面光LED,亮度连续可调
·放大倍数:30x-200x(光学放大倍率为0.7-4.5倍)
·选配功能:七海16向全视角旋转灯源系统
七海12段自动变焦镜头
美国NAVITA测量专用镜头
触发测头探针组(智慧型探针测量系统)
激光位移感测系统
·工作距离:90mm
·电源:220V±10%,50Hz(用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆)
·工作环境:20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度45%~75%,振动<0.002g,低于15Hz |